东吴证券表示，看好自主可控趋势下，设备&零部件国产替代加速。1）先进逻辑/存储厂商持续扩产，叠加先进制程设备继续突破放量，看好逻辑&存储厂商扩产带来半导体设备&零部件需求上升； 2）国产半导体设备商均开启平台化布局，看好半导体设备公司平台化加速，不断拓宽产品种类打造一体化解决方案；3）半导体设备国产化率仍有较大空间，看好半导体设备公司差异化竞争，国产替代逻辑仍然生效；4）受益于AI芯片浪潮加速，看好下游封测设备起量，特别是测试设备国产化进程顺利，有望实现国产化替代放量。
半导体设备ETF（代码：159516）跟踪的是半导体材料设备指数（代码：931743），该指数成分股涵盖半导体材料和设备制造领域的上市公司，反映该行业证券的整体表现。指数成分股具有高成长性和高技术壁垒的特征，行业配置集中于半导体产业链上游环节，包括晶圆制造设备、测试设备、光刻胶等核心细分领域。
没有股票账户的投资者可关注国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A（019632），国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接C（019633）。
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